淨化車間潔淨度檢測標準及要求

　　淨化車間潔淨度檢測標準及要求。
 

　　一、定義：
 

　　潔淨室(clean room)又稱無塵室，是指將一定空間範圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等汙染物排除，並將室內溫度、濕度控製在某一要求的房間。
 

　　二、範圍：
 

　　本標準規定了電子工業用潔淨室的術語和定義；對電子工業用的潔淨室環境條件作了規定；並對電子工業用空氣淨化係統及其性能指標作了規定。
 

　　潔淨室定義潔淨室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式可最大限度減少房間進入的、產生的和滯留的粒子。房間內的溫度、濕度、壓力等其他相關參數均按要求受控(ISO 14644-6)。2.潔淨室的四大技術要求一、送風至少經過三級過濾(粗效、中效和高效)，並且高效過濾器應設置在係統的末端。
 

　　二、潔淨室應有足夠的淨化和空調的送風量。
 

　　三、潔淨室應維持必要的壓力梯度(正壓梯度或負壓梯度)。
 

　　四、潔淨室應有合理的氣流組織。3.潔淨室的分類按氣流流型潔淨室可劃分為：
 

　　▲ 單向流潔淨室
 

　　1、單向流(層流)潔淨室，其中又分垂直單向流潔淨室和水平單向流潔淨室。2、單向流氣流的淨化原理是活塞和擠壓原理，把塵埃粒子從一端向另一端擠壓出去，用潔淨氣流置換汙染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流兩種氣流流型。
 

　　垂直單向流是潔淨的氣流以一定的速度(0.25m/s~0.5m/s)從頂部流向地麵的氣流流型。這種氣流能創造100級、10級、1級或更高潔淨度級別。但其初投資很高、運行費很高，工程中盡量將其麵積壓縮到最小，應用到關鍵的必須用的部位。
 

　　水平單向流是潔淨的氣流以一定的速度(0.3m/s~0.5m/s)從送風牆流向對麵的回風牆的氣流流型。該氣流可創造100級的潔淨度級別。其初投資和運行費低於垂直單向流流型。